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知道的说一下mems麦克风原理是什么?

2817人浏览 2023-06-29
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  • 童睿聪
    童睿聪

    2023-06-29

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    原理:像ECM一样,MEMS麦克风也是电容麦克风。MEMS麦克风包含一个灵活悬浮的薄膜,它可在一个固定背板之上自由移动,所有元件均在一个硅晶圆上制造。该结构形成一个可变电容,固定电荷施加于薄膜与背板之间。传入的声压波通过背板中的孔,引起薄膜运动,其运动量与压缩和稀疏波的幅度成比例。这种运动改变薄膜与背板之间的距离,进而改变电容。在电荷恒定的情况下,此电容变化转换为电信号。

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